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HF-GDS

 

GDS (Glow Discharge Source, Glimmlampe)


Bei der GDS-Technik werden Festkörperproben in einer elektrischen Niederdruck-Gasentladung durch Beschuß mit Argon-Ionen schichtweise abgesputtert ("Kathodenzerstäubung"). Gleichzeitig findet eine Anregung des auf einer Fläche von 1 bis 8mm Durchmesser abgebauten Probenmaterials statt. Die Lichtausbeute ist gering, so daß lichtempfindliche Spektrometer erforderlich sind.

Glimmentladungs-Quellen eignen sich auf Grund ihres nahezu planparallelen Probenabtrags und ihrer guten Tiefen-Auflösung hervorragend zur Oberflächen- und Schicht-Analytik auf festen Werkstoff-Proben. Seit einigen Jahren werden neben reinen Gleichstrom- (dc-) Anlagen, die auf elektrisch leitende Proben beschränkt sind, auch hochfrequenzgestützte Systeme eingesetzt, mit denen sich neben elektrisch leitenden auch elektrisch nichtleitende Proben oder nichtleitende Oberflächenbeschichtunge analysieren lassen.

Durch Spezial-Vorrichtungen sind auch zylindrische oder sphärisch geformte Proben heute problemlos analysierbar.

GDS-Quelle mit typischen Proben


Spectral Systems bietet neben Ersatzteilen für diverse GDS-Spektrometer auch Zubehör (z.B. Spezialproben-Adapter für runde bzw. unebene Proben, Bausätze zur Nachrüstung und separate GDS-Einheiten an.

 

 

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Stand: 10. November 2008